重生99zuo汽车jutou 第946节(1/3)

“但你可能没想到，通快公司的这台激光又依赖于一家立／陶／宛的公司提供关键设备，没有这家立／陶／宛公司制造的光源设备，通快公司也生产不来相关的设备。”

“而哪怕是你能搞定这一步，那么一个难关是如何把这极紫外光收集起来，形成一束极紫外光的激光呢？”

“这里面就涉及到了光学系统。”

贺光明看到曹没有打断自己的话，以为对方是被自己说的难度给震住了。

所以继续很是积极地在那里解释着。

“为euv研制的这光学系统全世界也只有一家德意志公司能制造，它就是大名鼎鼎的蔡司公司。”

“很多人可能听说过蔡司生产的相机镜是世界上最好的镜之一，可是相机镜与euv光学系统用的镜比起来，那就好像是螺旋桨撒农药的飞机和气式战斗机的差别了。”

“这光学系统至少涉及以这些技术挑战：度非球面加工，多层反镜，质量熔炼，离束抛光技术，极限度磨制。”

“最终的目标是要制作一片绝对光平整的镜片，要光到什么程度呢？”

“用蔡司自己的宣传比喻，就是把这片镜片放大到整个德意志那么大，起伏也没超过01毫米。”

贺光明还想继续解释，不过曹却是不想听他科普了，：“贺总，德意志通快的激光设备技术确实是很厉害，但是你如果去打听一的话，就会发现在激光切割和激光焊接领域，南山设备已经把通快给打的在华夏活不去了。”

“就以汽车行业的冲压成型零件生产线需要使用的激光切割设备为例，全国超过50家冲压成型生产线里，八成以上的激光切割设备都是南山设备提供的。”

“所以你刚刚说的激光有多难，那只是相对其他的厂家来说，对于南山设备来说，其实并不是不可克服的。”

‘甚至我可以透一些消息，南山设备的激光已经顺利的安装在了自主研发的光刻机上面了。’

“如果今后都微电设备还是准备继续生产光刻机的话，可以考虑从南山设备购买激光，绝对会给你带来意外的惊喜。”

“除此之外，我们对光刻机的光学系统了一系列的改善，相关的工作已经基本上完成，近期会把这些技术以论文的形式在相关的杂志上行发表。”

“当然了，我也可以简单的先跟贺总你透一，我们的这光学系统虽然也是需要度的镜片，但是夸张程度远远没有蔡司给阿斯麦供应的那程度。”

“我承认要制作一片绝对光平整的镜片非常困难，蔡司可以镜片的起伏控制在大约一个原的误差，接近理论上的理极限，我们南山设备是还不到的，在国也找不到类似平的厂家。”

“但是我们可以把这个光学系统一个比较笨重的改，通过加大设备积的方式，来换一方法去达到最终的目的。”

“虽然这会导致我们的光刻机的积比阿斯麦的大很多，但是不要说满足65纳米的芯片生产需求，就是满足40纳米，甚至22纳米的芯片生产也是没有问题的。”

“最关键的是我们现在没有必要立就生产euv光刻机，生产duv光刻机已经够用了。”

“这么一来，相关的技术难度立就降了好几个等级。”

曹这么一说，贺光明忍不住张大了嘴。

要不是说这话的是曹，他是死活都不相信这话有什么可信度的。

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