重生99zuo汽车jutou 第1029节(1/3)

“刻蚀技术可以分为两类，一是使用态化学品的法刻蚀，让硅片在酸碱的泡澡淋浴中定量减。”

“二是使用气等离的法刻蚀，让硅片在化学气的离轰击局瘦。”

“其中法刻蚀的技能早就被人类亮，比如中世纪的欧洲人，会用酸溶，在金属盔甲上蚀刻雕。”

“明代的《格古要论》中也有记载：凡刀剑，打磨光净，用金丝矾矾之，其纹则见。”

“明朝人说的金丝矾就是一硫酸盐，因此当历史集成电路的时代，工程师们首先想到的也是利用各酸碱的腐蚀，来大规模地刻芯片，制程工艺中的刻蚀之名，由此产生。”

“刻蚀中有三个关键指标：刻蚀速率，选择比和方向。”

“其中刻蚀速率指的是质被溶解的速度，通常用每分钟损失多少微米的厚度来计量。”

“在芯片制程中，一个位的刻蚀度，通常是用刻蚀时来控制的，因此保证一个确且恒定的刻蚀速率非常重要，而这对于刻蚀的纯度，比，和度变化的要求很。”

“基于化学反应的法刻蚀，只能尽量减少横向刻蚀，完全的各向异它不到。”

“在芯片制程的早期，件结构比较糙，线宽间距也够大，刻蚀方向差一，问题还不大。”

“但随着制程次微米级，法刻蚀就跟不上芯片的度要求了，逻辑电路自然不用说，关键层需要纳米级的密刻蚀，即便像dra之类相对糙的存储芯片，要刻里面又窄又的电容沟槽，也需要方向极的雕刻方法，这就是法刻蚀。”

“法用的是，法用的则是气，芯片厂每天消耗很多特气，其中很大一分就用于刻蚀。”

“这些气在确比后，被通反应腔，再用电容或电耦合的方式，让气完全或分电离，形成等离或离束，经过电场加速，向硅片行刻蚀，这是一兼理与化学属的雕刻方式。”

“主的芯片制程中，超过90％的芯片刻蚀都是法，因为它的方向好，气比和频电源也能实现更密的调控。”

“至于缺，抛开技术的复杂度不谈，主要有两个，一个是贵，一个是慢。”

“一台刻蚀机的价格，数百万元，那比光刻机是便宜多了，但是不同介质的刻蚀，需要买不同的刻蚀机。”

“而且工艺中，刻蚀的时远超光刻，毕竟人家是用光来刻嘛。”

“因此产线上一台光刻机，要多台刻蚀机，照设备总成本来计算，两者的开销差不多。”

“相比光刻机对光线的确控制，蚀刻机更多的是需要对气行确控制，两者的度要求虽然差不多，但是生产难度却是完全不同的。”

“光刻机里，光学系统的加工难度是非常的，特别是里面的镜片，国还真是很难找到符合要求的厂家。”

“你找蔡司购买的话，人家不一定会卖给你跟阿斯麦一个平的产品。”

“但是蚀刻机的话，我们不需要这么复杂的东西，只要设备设计的足够妙，零件的加工度可以符合要求，就有希望生产能够加工7纳米的蚀刻机来。”

尹志解释了一大顿，曹听懂了一分。

不过他不担心！

原本没有南山集团帮忙，中微半导都能很快的突破各蚀刻机技术，最终5纳

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