“通常电
特气的纯度要求必须达到5n及以上级别,n代表纯度百分比中9的个数。”
“目前我们南山半导
的芯片制程已从过去的60n、28n发展到目前先
的14n,对应电
特气中的污染粒
积也要缩小许多倍以上,才能确保晶圆不受污染,保持输
产品的良品率。”
“潘院士,设备方面你们就多
心咯。”
伴随着曹
的这个决定,韶钢气
也算是正式的
到了发展的快车
。
谢灵云肯定也是希望韶钢气
能够发展壮大,这样
南山特殊钢的影响力也会更大。
这个消息,自然也是不可能一直瞒得住。
潘金兴是理解大家的需求的。
“晶圆制造对电
特气的纯度要求更为严格,一般要求大于6n。”
那样
并不符合南山半导
的利益。
“如果杂质
量过
,轻则导致
游相关批次产品质量不达标,重则扩散污染整条生产线,造成
额损失。”
不过,这需要南山设备去研发更多
类的相关设备才行。
“有一些相对成熟的气
以及生产这些气
的设备,其他厂家也能搞定。”
“那就
照这个方向去努力,尽快的推动韶钢气
的快速发展。”
比如行业
的华特气
、金宏气
、凯
气
等公司,人家在
纯四氟化碳、
纯六氟乙烷、
纯二氧化碳、
纯一氧化碳、
纯氨、
纯一氧化氮等众多产品当中就已经
得很不错,可以实现
替代。
对于潘金兴的这个说法,章京也基本上是认可的。
毕竟有一些市场很小,已经有其他不错的国产厂家在里
玩的话,南山设备就没有必要去凑
闹了。
“我们要去研究生产这些设备,自然是能够搞
来的。”
“例如在晶圆制造过程中沉积成
工段的硅烷特
气
纯度要求达到8n及以上。”
而它们生产的第一批电
特气,也开始正式的在南山半导
的一
分工厂
行使用。
“不过我觉得还是可以选择
的针对一些气
来发力,要不然所有的气
都自己生产的话,
价比反而不一定更
。”
不过他也不想完全把这些活给揽
来。
“除此之外,
比
度是针对混
气
的
心参数,即
准控制不同气
的混
比额,行业
一般以pp、ppb、ppt以及百分数来表示组分
比。”
特别是当南山特殊钢官宣公司旗
的韶钢气
正式的
军电
特气市场之后,相关的一些企业立
就注意到了这个变化。
“电
特
气
与传统工业气
的区别在于纯度更
或者
有特殊用途,比如如参与化学反应。”
曹
肯定是支持章京的观
。
“越是制程先
的生产线,对于电
特气的质量要求就越
。”
这个时候,韶钢气
自然没有必要去搞了。
复杂的吧?”
半导
产业需要用到的电
特气太多了,并不是所有的气
华夏的厂家都是搞不定的。
“这
况
,有针对
的生产
端的电
特气,把中低端的市场
给国
的其他厂家也是可以的。”
像是氦气、氖气等国
比较薄弱的领域,才是韶钢气
最值得发力的地方。
所以章京也支持潘金兴的想法,不需要韶钢气
那边什么东西都生产。
“这么一来,对生产设备的要求就要
很多,这也是为什么国
之前半导
行业用的电
特气大
分都是需要
的原因。”
“帕特,华夏那边南山半
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